半导体设备国产替代趋势月度跟踪：4月设备类招标稳步增长 测试设备招标量领先

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核心观点：

4 月设备招标量燕东领跑，行业招标设备以测试机、光刻、刻蚀设备为主。2023 年4 月统计样本中的晶圆产线合计产生65 项招标。以中芯国际、粤芯半导体、积塔半导体、燕东微电子等产线招标为主。招标设备主要包括测试机、光刻、刻蚀设备，主要为燕东微电子、积塔特色工艺生产线、华虹半导体招标。此外，基建项目主要为中芯国际和粤芯12英寸集成电路模拟特色工艺生产线项目（三期）、合肥长鑫招标。2023年1-4 月，统计样本中的晶圆产线合计招标254 项，其中，中芯国际、积塔半导体、粤芯半导体的招标量位居前三。整体而言，设备招标以刻蚀、CVD、测试机设备为主。

国产厂商卡位量测、退火、研磨抛光等设备领域，4 月中标设备国产比例为25%。中标方面，2023 年4 月，统计样本中的晶圆产线上合计中标16 台设备，以探针台、扩散、刻蚀、退火设备居多；国产设备整体中标比例约25%，其中，量测、退火、研磨抛光设备的国产中标比例显著。2023 年1-4 月，统计样本中的晶圆产线合计中标120 台设备，以刻蚀、量测、炉管设备居多；国产设备整体中标比例约48%，其中，沉积、CVD、PECVD、外延、检测、气液系统设备的国产中标比例较高。

1-4 月北方华创企业中标量领先，国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为42%。2023 年4 月，华卓精科中标2 台退火设备，在对应工艺环节的中标比例为100%。2023 年1-4 月，国内半导体设备厂商合计中标37 台设备，北方华创、万业企业中标量领先。

其中，北方华创中标主要包括刻蚀、炉管、扩散和外延设备，分别为10台、1 台、1 台和1 台；万业企业中标主要包括沉积、PVD 和CVD 设备，分别为5 台、1 台和2 台。2023 年1-4 月，国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为42%。其中，北方华创的外延、扩散设备、拓荆科技的PECVD 设备在对应工艺环节的中标比例领先，均为100%。

投资建议：国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的持续扩张，以及公司自身的产品竞争力、广阔的份额增长空间和品类扩张能力，有望加速提升半导体设备的国产替代份额，成长速度和空间均十分显著。建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、芯源微、拓荆科技、中科飞测、中微公司*、华海清科、盛美上海*、华峰测控*、长川科技*、微导纳米、至纯科技*、万业企业等标的。（带*标的为与广发机械联合覆盖）

风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。

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