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中国将对美光进行安全审查，彰显自主可控决心。3 月31 日，根据网信办官网披露，网信办为保障关键信息基础设施供应链安全，对美光公司（Micron）在华销售的产品实施网络安全审查。我们认为，实施审查一方面利好国内的存储企业的发展；另一方面，此举也彰显了我国在存储领域实现自主可控的信心，利好国内研发进展较快的设备和零部件公司。
日本跟进美国限制半导体设备的出口，国内零部件等领域国产替代有望加速。3 月31 日，根据日本经济新闻网，日本政府将限制半导体制造设备等23 种品类的出口，是继荷兰之后，即将履行与美国达成的限制中国进口用于生产尖端半导体的设备的三方协议。在美国制裁中国设备采购之后，国内众多制造企业增加了对于日韩零部件和设备的采购，此次日本的出口限制增加了国内半导体供应链的不稳定性，同时也将敦促国内的FAB 厂和设备公司加强对于国产零部件和设备的验证，国产替代有望加速。
半导体设备方面，推荐引领存储领域制程进步的设备公司。目前 128层 3D NAND 闪存已进入大生产，其制造工艺中，刻蚀要在氧化硅和氮化硅的叠层结构上，加工40：1 到60：1 甚至更高的极深孔或极深的沟槽。根据中微公司的年报，公司的等离子体刻蚀设备可应用于64层和128 层的量产，同时公司根据存储器件客户的需求正在开发极高深宽比的刻蚀设备和工艺，开发的三代CCP 高能等离子体刻蚀机已实现刻蚀60:1 极高深宽比。因此，我们推荐在极高深宽比方面获得突破的中微公司（和广发电子组联合覆盖）。
设备零部件方面，推荐在特气输送领域形成竞争力的零部件公司。3DNAND 层数的增加，要求刻蚀技术实现更高的深宽比，同时增加了刻蚀次数，对刻蚀设备的需求比例进一步加大。且干法刻蚀需要用到大量的特气，其中的特气阀门要求很高的表面洁净度、且需要定期更换，需求量可观，同时特气需要用gas box 进行调配。这些零部件均为国产替代持续进行的关键领域。我们推荐Gas box 订单放量的正帆科技和在特气阀门形成竞争优势的新莱应材，建议关注同样布局Gas box 的富创精密。
风险提示。国外关键设备制裁加剧风险；国内设备验证不及预期风险；国内半导体景气度较弱影响资本开支的风险。
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