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晶盛机电(300316)：碳化硅外延炉再迈新台阶持续锐意进取-世界微资讯

2023-06-29 19:29:15 来源：广发证券股份有限公司

(相关资料图)

核心观点：

公司在第三代半导体领域持续锐意进取，成功研发8 英寸碳化硅外延设备。近日，晶盛机电成功研发出8 英寸单片式碳化硅外延生长设备，可实现掺杂均匀性4%以内的外延质量，可兼容6、8 寸碳化硅外延生产，目前在子公司晶瑞的8 英寸衬底基础上，公司设备调试结果可达厚度均匀性1.5%以内、掺杂均匀性4%以内，已达到行业领先水平。

此前在碳化硅领域，公司已先后研发了长晶炉和6 英寸外延炉。

碳化硅外延炉国产化从0 到1，有望成为国产先行者。当前碳化硅外延炉市场被日本TEL、德国Aixtron、日本Nuflare、意大利LPE 四大海外龙头所垄断，国内供应商的生产能力和技术研发能力极其稀缺，在海外龙头产能紧缺的情况下，以晶盛机电为代表的国产商有望快速打开市场。据我们不完全统计，22-25 年国内4-6 英寸碳化硅衬底产能有望达到138/204/257/295 万片/年，CAGR28.7%。8 英寸衬底方面，目前国内约有10 家企业机构在研发，23 年是大部分企业的小批量量产节点，公司有望受益于未来8 英寸碳化硅扩产潮带来的设备需求。

泛半导体设备+材料的平台型龙头。设备领域，公司横跨光伏长晶与切片设备、半导体大硅片设备、功率半导体设备及晶圆设备；材料环节，公司涉足石英坩埚、金刚线、碳化硅衬底、蓝宝石等领域。今年保持较高景气度，随着公司各类产品不断迭代，上行空间打开。

盈利预测与投资建议：预计公司2023-2025 年归母净利润为46.21/60.26/71.65 亿元，EPS 为3.53/4.60/5.47 元/股，参考可比公司，给予公司2023 年25 倍PE，对应合理价值88.28 元/股，维持“买入”评级。

风险提示。光伏及半导体硅片扩产不及预期；半导体国产化进程不及预期；碳化硅渗透率不及预期。

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